000 01097nam a22002897a 4500
001 20123
005 20241109221810.0
008 200804s2008 vm ||||| |||||||||||vie d
020 _c108.000 VND
040 _aLIB.UNETI
_bvie
_cLIB.UNETI
_eAACR2
044 _avm
082 _a621.381
_bP568H
100 1 _aPhùng, Hồ
245 1 0 _aGiáo trình vật liệu bán dẫn /
_cPhùng Hồ, Phan Quốc Phô
260 _aHà Nội :
_bKhoa học và kỹ thuật,
_c2008
300 _a391 tr. ;
_c24 cm
500 _aĐTTS ghi: Trường ĐH Bách khoa Hà Nội
520 _aNhững phương pháp công nghệ cơ bản để chế tạo vật liệu bán dẫn (đa tinh thể, đơn tinh thể), kiểm tra thông số và gia công vật liệu bán dẫn. Công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn và mạch tổ hợp (ôxi hóa, khuếch tán, epitaxi ...)
653 _aCông nghệ chế tạo
653 _aGiáo trình
653 _aKỹ thuật
653 _aVật liệu bán dẫn
690 _a08
691 _a23
700 1 _aPhan, Quốc Phô
942 _cSTK
999 _c2847
_d2847