000 | 01097nam a22002897a 4500 | ||
---|---|---|---|
001 | 20123 | ||
005 | 20241109221810.0 | ||
008 | 200804s2008 vm ||||| |||||||||||vie d | ||
020 | _c108.000 VND | ||
040 |
_aLIB.UNETI _bvie _cLIB.UNETI _eAACR2 |
||
044 | _avm | ||
082 |
_a621.381 _bP568H |
||
100 | 1 | _aPhùng, Hồ | |
245 | 1 | 0 |
_aGiáo trình vật liệu bán dẫn / _cPhùng Hồ, Phan Quốc Phô |
260 |
_aHà Nội : _bKhoa học và kỹ thuật, _c2008 |
||
300 |
_a391 tr. ; _c24 cm |
||
500 | _aĐTTS ghi: Trường ĐH Bách khoa Hà Nội | ||
520 | _aNhững phương pháp công nghệ cơ bản để chế tạo vật liệu bán dẫn (đa tinh thể, đơn tinh thể), kiểm tra thông số và gia công vật liệu bán dẫn. Công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn và mạch tổ hợp (ôxi hóa, khuếch tán, epitaxi ...) | ||
653 | _aCông nghệ chế tạo | ||
653 | _aGiáo trình | ||
653 | _aKỹ thuật | ||
653 | _aVật liệu bán dẫn | ||
690 | _a08 | ||
691 | _a23 | ||
700 | 1 | _aPhan, Quốc Phô | |
942 | _cSTK | ||
999 |
_c2847 _d2847 |