TY  - BOOK
AU  - Phùng,Hồ
AU  - Phan,Quốc Phô
TI  - Giáo trình vật liệu bán dẫn
U1  - 621.381 
PY  - 2008///
CY  - Hà Nội
PB  - Khoa học và kỹ thuật
KW  - Công nghệ chế tạo
KW  - Giáo trình
KW  - Kỹ thuật
KW  - Vật liệu bán dẫn
N1  - ĐTTS ghi: Trường ĐH Bách khoa Hà Nội
N2  - Những phương pháp công nghệ cơ bản để chế tạo vật liệu bán dẫn (đa tinh thể, đơn tinh thể), kiểm tra thông số và gia công vật liệu bán dẫn. Công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn và mạch tổ hợp (ôxi hóa, khuếch tán, epitaxi ...)
ER  -