TY  - BOOK
AU  - Nguyễn,Nam Trung
TI  - Cơ sở công nghệ vi điện tử và vi hệ thống
U1  - 621.381 
PY  - 2001///
CY  - Hà Nội
PB  - Khoa học và kỹ thuật
KW  - Công nghệ
KW  - Điện
KW  - Điện tử
KW  - Vi điện tử
KW  - Vi hệ thống
N2  - Lịch sử phát triển công nghệ vi điện tử. Giới thiệu: vi điện tử, vi cơ silic, vi cảm biến silic trực tiếp, vi cảm biến gián tiếp và vi động
ER  -