TY  - BOOK
AU  - Nguyễn,Đức Chiến
AU  - Nguyễn,Văn Hiếu
TI  - Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử
SN  - 9786049116551
U1  - 621.3815 23
PY  - 2014///
CY  - Hà Nội
PB  - Bách Khoa Hà Nội
KW  - Công nghệ
KW  - Chế tạo
KW  - Mạch vi
KW  - Điện tử
N2  - Cuốn sách này tổng quan về nhập môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hóa nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn. Ngoài ra, còn có các phương pháp vật lý tạo màng mỏng bay hơi và phún xạ, kết tủa hóa pha hơi, epitaxy, công nghệ cmos, công nghệ mesfet, công nghệ lưỡng cực silic
ER  -