Nguyễn, Đức Chiến <br/><br/>
Công nghệ chế tạo mạch vi điện tử / 
Nguyễn Đức Chiến, Nguyễn Văn Hiếu 
 - Xuất bản lần thứ hai, có sửa chữa và bổ sung 
 - Hà Nội :  Bách Khoa Hà Nội,  2014 
 - 279 tr.  : hình, bảng, sơ đồ, công thức  ; 24 cm 
<br/><br/> Cuốn sách này tổng quan về nhập môn công nghệ chế tạo mạch vi điện tử, vật liệu bán dẫn, khuếch tán, oxy hóa nhiệt, cấy ion, xử lý nhiệt nhanh, khắc và ăn mòn. Ngoài ra, còn có các phương pháp vật lý tạo màng mỏng bay hơi và phún xạ, kết tủa hóa pha hơi, epitaxy, công nghệ cmos, công nghệ mesfet, công nghệ lưỡng cực silic. 
<br/><br/><label>ISBN: </label>9786049116551  82.000 VND 
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Công nghệ Chế tạo Mạch vi Điện tử 
<br/><br/><label>Dewey Class. No.: </label>621.3815  / N4994C